Подлога од 6 инчи n-тип на sic

Краток опис:

6-инчен n-тип SiC супстрат‌ е полупроводнички материјал кој се карактеризира со употреба на големина на нафора од 6 инчи, што го зголемува бројот на уреди што можат да се произведат на една обланда на поголема површина, а со тоа ги намалува трошоците на ниво на уредот . Развојот и примената на 6-инчни n-тип на SiC подлоги имаа корист од унапредувањето на технологиите како што е методот на раст RAF, кој ги намалува дислокациите со сечење на кристалите по дислокации и паралелни насоки и повторно растење на кристалите, а со тоа го подобрува квалитетот на подлогата. Примената на оваа подлога е од големо значење за подобрување на производната ефикасност и намалување на трошоците на уредите за напојување со SiC.

 


Детали за производот

Ознаки на производи

Силициум карбид (SiC) еднокристален материјал има голема ширина на јазот на лентата (~Si 3 пати), висока топлинска спроводливост (~Si 3,3 пати или GaAs 10 пати), висока стапка на миграција на заситеност на електрони (~Si 2,5 пати), висок електричен дефект поле (~Si 10 пати или GaAs 5 пати) и други извонредни карактеристики.

Полупроводничките материјали од третата генерација главно вклучуваат SiC, GaN, дијамант, итн., бидејќи неговата ширина на јазот на појасот (на пр.) е поголема или еднаква на 2,3 електрон волти (eV), познати и како полупроводнички материјали со широк опсег. Во споредба со полупроводничките материјали од првата и втората генерација, полупроводничките материјали од третата генерација ги имаат предностите на високата топлинска спроводливост, високото електрично поле на распаѓање, високата стапка на миграција на заситени електрони и високата енергија на поврзување, што може да ги исполни новите барања на модерната електронска технологија за висока температура, висока моќност, висок притисок, висока фреквенција и отпорност на зрачење и други тешки услови. Има важни изгледи за примена во областа на националната одбрана, воздухопловството, воздушната, истражувањето на нафта, оптичкото складирање итн., и може да ја намали загубата на енергија за повеќе од 50% во многу стратешки индустрии како што се широкопојасните комуникации, сончевата енергија, производството на автомобили, полупроводничко осветлување и паметна мрежа и може да го намали обемот на опремата за повеќе од 75%, што е од пресвртница за развојот на човековата наука и технологија.

Енергијата Semicera може да им обезбеди на клиентите висококвалитетна супстрат од силициум карбид со проводен (проводен), полуизолациски (полуизолациски), HPSI (полуизолациски со висока чистота); Покрај тоа, можеме да им обезбедиме на клиентите хомогени и хетерогени епитаксијални листови од силициум карбид; Можеме да го прилагодиме и епитаксиалниот лист според специфичните потреби на клиентите, а нема минимална количина на нарачка.

ОСНОВНИ СПЕЦИФИКАЦИИ НА ПРОИЗВОДОТ

Големина

 6-инчен
Дијаметар 150,0мм+0мм/-0,2мм
Површинска ориентација надвор од оската:4°кон<1120>±0,5°
Примарна рамна должина 47,5мм1,5мм
Примарна рамна ориентација <1120>±1,0°
Секундарен стан Никој
Дебелина 350,0um±25,0um
Политип 4H
Проводен тип n-тип

СПЕЦИФИКАЦИИ ЗА КВАЛИТЕТ НА КРИСТАЛ

6-инчен
Ставка Одделение P-MOS Одделение P-SBD
Отпорност 0,015Ω·cm-0,025Ω·cm
Политип Никој не е дозволен
Густина на микроцевки ≤0,2/cm2 ≤0,5/cm2
EPD ≤4000/cm2 ≤8000/cm2
ТЕД ≤3000/cm2 ≤6000/cm2
БПД ≤1000/cm2 ≤2000/cm2
ТСД ≤300/cm2 ≤1000/cm2
SF (мерено со UV-PL-355nm) ≤0,5% површина ≤1% површина
Хексадетични плочи со светлина со висок интензитет Никој не е дозволен
Визуелни вклучувања на јаглерод со светлина со висок интензитет Кумулативна површина≤0,05%
微信截图_20240822105943

Отпорност

Политип

6 lnch n-тип sic супстрат (3)
6 lnch n-тип sic супстрат (4)

BPD&TSD

6 lnch n-тип како супстрат (5)
SiC наполитанки

  • Претходно:
  • Следно: