Масовно CVD SiC прстен

Краток опис:

Масовните CVD SiC прстени користат гас од силициум (како што е силициум хидрид) и гас од извор на јаглерод (како метан) како суровини, реагирајќи на висока температура за да таложат SiC материјали со големи димензии на подлога или мувла. Овој процес овозможува SiC да се депонира подеднакво на голема површина, формирајќи силна и конзистентна структура на прстенот.

Испратете ни е-пошта

Детали за производот

Ознаки на производи

Зошто е прстен за офорт со силикон карбид?

RTPCVD SiC прстенисе широко користени во индустриски и научни области во високи температури и корозивни средини. Тој игра важна улога во производството на полупроводници, оптоелектрониката, прецизните машини и хемиската индустрија. Специфичните апликации вклучуваат:

1. Производство на полупроводници:RTP CVD SiC прстениможе да се користи за загревање и ладење на полупроводничка опрема, обезбедувајќи стабилна контрола на температурата и обезбедувајќи точност и конзистентност на процесот.

2. Оптоелектроника: Поради одличната топлинска спроводливост и отпорноста на високи температури, RTPCVD SiC прстениможе да се користи како материјали за поддршка и дисипација на топлина за ласери, опрема за комуникација со оптички влакна и оптички компоненти.

3. Прецизни машини: RTP CVD SiC прстените може да се користат за прецизни инструменти и опрема во високи температури и корозивни средини, како што се печки со висока температура, вакуумски уреди и хемиски реактори.

4. Хемиска индустрија: Поради отпорноста на корозија и хемиската стабилност, RTP CVD SiC прстените може да се користат во контејнери, цевки и реактори во хемиски реакции и каталитички процеси.

Епи систем

RTP систем

CVD систем

Перформанси на производот:

1. Запознајте го процесот под 28nm

2. Супер отпорност на корозија

3. Супер чисти перформанси

4. Супер цврстина

5. Висока густина

6. Отпорност на високи температури

7. Отпорност на абење

Апликација за производ:

Материјалите од силициум карбид имаат карактеристики на висока цврстина, отпорност на абење, отпорност на корозија и стабилност на висока температура. Производите со одлични сеопфатни перформанси се широко користени во процесите на суво офорт и TF/Diffusion.