Носач/Сусцептор со висока чистота SiC

Избрана слика за носач/поддржувач на SiC со висока чистота

Краток опис:

Силиконски карбид лого диск е исто така познат како SIC послужавник, силициум карбид офорт диск, ICP офорт диск. Фиока со силициум карбид за LED офорт (SiC послужавник) φ600mm е специјален додаток за длабоко силициумско офорт (ICP машина за офорт).

Испратете ни е-пошта

Детали за производот

Ознаки на производи

Опис

Керамиката со силициум карбид има одлични механички својства на собна температура, како што се висока јачина, висока цврстина, висок модул на еластичност итн., исто така има одлична стабилност на висока температура како висока топлинска спроводливост, низок коефициент на термичка експанзија и добра специфична вкочанетост и оптички перформанси на обработка.
Тие се особено погодни за производство на прецизни керамички делови за опрема за интегрирано коло, како што се машините за литографија, кои главно се користат за производство на носач/поднесувач на SiC, чамци со нафора со SiC, диск за цицање, плоча за ладење вода, рефлектор за прецизно мерење, решетка и други керамички структурни делови

носител2

носител3

носач4

Предности

Отпорност на високи температури: нормална употреба на 1800 ℃
Висока топлинска спроводливост: еквивалентно на графитниот материјал
Висока цврстина: цврстина втор само по дијамантот, бор нитрид
Отпорност на корозија: силна киселина и алкали немаат корозија, отпорноста на корозија е подобра од волфрам карбид и алумина
Мала тежина: мала густина, блиску до алуминиум
Без деформација: низок коефициент на термичка експанзија
Отпорност на термички удар: може да издржи остри температурни промени, да се спротивстави на термички шок и има стабилни перформанси
Носач на силициум карбид, како што е носачот за офорт, ICP за офорт, широко се користат во полупроводнички CVD, вакуумско прскање итн.

Предности

Имотот	Вредност	Метод
Густина	3,21 g/cc	Мијалник-плови и димензија
Специфична топлина	0,66 J/g °K	Импулсен ласерски блиц
Јачина на свиткување	450 MPa560 MPa	Свиткување со 4 точки, кривина RT4 точка, 1300°
Цврстина на фрактура	2,94 MPa m1/2	Микровдлабнување
Цврстина	2800	Vicker's, товар од 500 g
Еластичен модул Модул на Јанг	450 GPa430 GPa	4 pt кривина, RT4 pt свиок, 1300 °C
Големина на зрно	2 – 10 µm	СЕМ

Профил на компанијата

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. е водечки снабдувач на напредна полупроводничка керамика и единствениот производител во Кина кој истовремено може да обезбеди високочиста силициум карбид керамика (особено рекристализиран SiC) и CVD SiC слој. Покрај тоа, нашата компанија е исто така посветена на керамичките полиња како што се алумина, алуминиум нитрид, цирконија и силициум нитрид итн.

Нашите главни производи вклучуваат: силициум карбид диск за офорт, силициум карбид влечење чамци, силициум карбид нафора брод (фотонапонски и полупроводнички), силициум карбид цевка печка, силициум карбид конзола лопатка, силициум карбид чаши, силициум карбид зрак C и VD, како и Si облога. Производите главно се користат во полупроводничките и фотоволтаичните индустрии, како што се опрема за раст на кристали, епитаксија, офорт, пакување, обложување и дифузни печки итн.
околу (2)