Semicera висока чистотаСиликонски карбид лопаткае прецизно дизајниран да ги задоволи строгите барања на современите процеси на производство на полупроводници. ОваSiC конзола лопаткасе истакнува во средини со висока температура, нудејќи неспоредлива термичка стабилност и механичка издржливост. Структурата на SiC Cantilever е изградена за да издржи екстремни услови, обезбедувајќи сигурно ракување со нафора низ различни процеси.
Една од клучните иновации наSiC лопаткае неговиот лесен, но робустен дизајн, кој овозможува лесна интеграција во постоечките системи. Неговата висока топлинска спроводливост помага да се одржи стабилноста на обландата за време на критичните фази како што се офорт и таложење, минимизирајќи го ризикот од оштетување на обландата и обезбедувајќи повисоки приноси на производството. Употребата на силициум карбид со висока густина во конструкцијата на лопатката ја подобрува неговата отпорност на абење и кинење, обезбедувајќи продолжен работен век и намалувајќи ја потребата за чести замени.
Semicera става силен акцент на иновациите, давајќи аSiC конзола лопаткашто не само што ги исполнува туку и ги надминува индустриските стандарди. Ова лопатка е оптимизирано за употреба во различни полупроводнички апликации, од таложење до офорт, каде што прецизноста и доверливоста се клучни. Со интегрирање на оваа врвна технологија, производителите можат да очекуваат подобрена ефикасност, намалени трошоци за одржување и постојан квалитет на производот.
Физички својства на рекристализиран силициум карбид | |
Имотот | Типична вредност |
Работна температура (°C) | 1600°C (со кислород), 1700°C (редуцирачка средина) |
Содржина на SiC | > 99,96% |
Бесплатна Si содржина | < 0,1% |
Масовна густина | 2,60-2,70 g/cm3 |
Очигледна порозност | < 16% |
Јачина на компресија | > 600 MPa |
Јачина на ладно свиткување | 80-90 MPa (20°C) |
Топла сила на свиткување | 90-100 MPa (1400°C) |
Термичка експанзија @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Топлинска спроводливост @1200°C | 23 W/m•K |
Еластичен модул | 240 GPa |
Отпорност на термички шок | Исклучително добро |