Semicera претставува висококвалитетен обичајсилициум карбид конзолни лопаткисоздаден за да ги подигне процесите на производство на полупроводници. ИновативнотоSiC лопаткадизајнот обезбедува исклучителна издржливост и висока термичка отпорност, што го прави суштинска компонента за ракување со нафора во предизвикувачки средини со висока температура.
НаСиликон карбид лопаткае изграден за да издржи екстремни термички циклуси додека го одржува структурниот интегритет, обезбедувајќи сигурен транспорт на нафора за време на критичните фази на производството на полупроводници. Со супериорна механичка сила, овачамец со нафораго минимизира ризикот од оштетување на наполитанките, што доведува до повисоки приноси и постојан квалитет на производството.
Една од клучните иновации во лопатката SiC на Semicera лежи во неговите сопствени опции за дизајн. Приспособено да ги задоволи специфичните потреби за производство, лопатката нуди флексибилност во интеграцијата со различните поставки на опремата, што го прави идеално решение за современи процеси на производство. Лесната, но цврста конструкција овозможува лесно ракување и го намалува оперативниот застој, придонесувајќи за подобрена ефикасност во производството на полупроводници.
Покрај неговите термички и механички својства, наСиликон карбид лопаткануди одлична хемиска отпорност, овозможувајќи му да работи сигурно дури и во сурови хемиски средини. Ова го прави особено погоден за употреба во процеси кои вклучуваат офорт, таложење и третман на висока температура, каде што одржувањето на интегритетот на чамецот со нафора е од клучно значење за обезбедување на висококвалитетни резултати.
Физички својства на рекристализиран силициум карбид | |
Имотот | Типична вредност |
Работна температура (°C) | 1600°C (со кислород), 1700°C (редуцирачка средина) |
Содржина на SiC | > 99,96% |
Бесплатна Si содржина | < 0,1% |
Масовна густина | 2,60-2,70 g/cm3 |
Очигледна порозност | < 16% |
Јачина на компресија | > 600 MPa |
Јачина на ладно свиткување | 80-90 MPa (20°C) |
Топла сила на свиткување | 90-100 MPa (1400°C) |
Термичка експанзија @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Топлинска спроводливост @1200°C | 23 W/m•K |
Еластичен модул | 240 GPa |
Отпорност на термички шок | Исклучително добро |