Изостатски PECVD графитен чамец

Краток опис:

Изостатскиот графит PECVD брод е широко користен во различни врски на производство на полупроводници, како што се таложење на полисилициумски филм, таложење на оксид филм, таложење на нитриден филм итн. Нејзините одлични перформанси го прават идеален носач на нафора во процесот PECVD.

Испратете ни е-пошта

Детали за производот

Ознаки на производи

SEMICERA изостатски PECVD графитен чамец е графитен производ со висока чистота и висока густина, дизајниран за поддршка на нафора во процесот PECVD (плазма засилено хемиско таложење на пареа). SEMICERA користи напредна технологија за изостатско пресување за да се осигура дека чамецот од графит има одлична отпорност на високи температури, отпорност на корозија, димензионална стабилност и добра топлинска спроводливост, што е неопходен потрошен материјал во процесот на производство на полупроводници.

SEMICERA изостатскиот графитен брод PECVD ги има следниве предности:

▪ Висока чистота: Графитниот материјал е со висока чистота и ниска содржина на нечистотии за да се избегне контаминација на површината на обландата.

▪ Висока густина: Висока густина, висока механичка сила, може да издржи висока температура и висока вакуумска средина.

▪ Добра димензионална стабилност: Мала промена на димензиите при висока температура за да се обезбеди стабилност на процесот.

▪ Одлична топлинска спроводливост: Ефикасно пренесувајте ја топлината за да спречите прегревање на нафората.

▪ Силна отпорност на корозија: Може да се спротивстави на ерозијата од различни корозивни гасови и плазма.

Параметар на перформанси	полукругови	SGL R6510	Параметар на перформанси
Масовна густина (g/cm3)	1.91	1.83	1,85
Јачина на свиткување (MPa)	63	60	49
Јачина на притисок (MPa)	135	130	103
Тврдост на брегот (HS)	70	64	60
Коефициент на термичка експанзија (10-6/K)	85	105	130
Коефициент на термичка експанзија (10-6/K)	5,85	4.2	5.0
Отпорност (μΩm)	11-13	13	10

Предности од изборот на нас:
▪ Избор на материјали: Графитните материјали со висока чистота се користат за да се обезбеди квалитет на производот.
▪ Технологија на обработка: Изостатското пресување се користи за да се обезбеди густина и униформност на производот.
▪ Прилагодување на големината: Графитните чамци со различни големини и форми може да се приспособат според потребите на клиентите.
▪ Површинска обработка: Обезбедени се различни методи за површинска обработка, како што се обложување силициум карбид, бор нитрид итн., за да се исполнат различните барања на процесот.