Примена на силициум карбид керамика во полупроводнички поле

Полупроводници:

Индустријата за полупроводници го следи индустрискиот закон за „една генерација технологија, една генерација процес и една генерација опрема“, а надградбата и повторувањето на полупроводничката опрема во голема мера зависи од технолошкиот пробив на прецизните делови. Меѓу нив, прецизните керамички делови се најрепрезентативните материјали за прецизни полупроводнички делови, кои имаат важна примена во низа главни производни врски за полупроводници како што се хемиско таложење на пареа, физичко таложење на пареа, имплантација на јони и офорт. Како што се лежиштата, водечките шини, облогите, електростатичките чак, механичките рачки за ракување, итн. Особено во внатрешноста на шуплината на опремата, таа игра улога на поддршка, заштита и пренасочување.

640

Од 2023 година, Холандија и Јапонија, исто така, последователно издаваат нови регулативи или декрети за надворешна трговија за контрола, додавајќи ги прописите за лиценца за извоз за полупроводничка опрема, вклучително и машини за литографија, а трендот на антиглобализација на полупроводниците постепено се појави. Важноста на независната контрола на синџирот на снабдување станува сè поизразена. Соочени со побарувачката за локализација на делови за полупроводничка опрема, домашните компании активно го промовираат индустрискиот развој. Zhongci Electronics ја реализираше локализацијата на високотехнолошките прецизни делови како што се грејните плочи и електростатичките чак, решавајќи го проблемот со „тесно грло“ на домашната индустрија за полупроводничка опрема; Dezhi New Materials, водечки домашен снабдувач на бази на графит обложени со SiC и прстени за офорт со SiC, успешно го заврши финансирањето од 100 милиони јуани, итн...
Керамички подлоги со силициум нитрид со висока спроводливост:

Керамичките подлоги од силикон нитрид главно се користат во енергетските единици, полупроводничките уреди и инверторите на чисто електрични возила (EVs) и хибридни електрични возила (HEVs) и имаат огромен пазарен потенцијал и изгледи за примена.

640 (1)

Во моментов, материјалите за керамичка подлога од силициум нитрид со висока топлинска спроводливост за комерцијални апликации бараат топлинска спроводливост ≥85 W/(m·K), јачина на свиткување ≥650MPa и цврстина на фрактура 5~7MPa·m1/2. Компаниите кои навистина имаат способност за масовно производство на силициум нитридни керамички подлоги со висока топлинска спроводливост се главно Toshiba Group, Hitachi Metals, Japan Electric Chemical, Japan Maruwa и Japan Fine Ceramics.

Домашното истражување на материјали за керамички подлоги од силициум нитрид, исто така, постигна одреден напредок. Топлинската спроводливост на керамичката подлога од силициум нитрид подготвена со процесот на кастрење на лента на филијалата на Пекинг на Sinoma High-Tech Nitride Ceramics Co., Ltd. е 100 W/(m·K); Успешно подготви керамичка подлога од силициум нитрид со јакост на свиткување од 700-800 MPa, цврстина на фрактура ≥8MPa·m1/2 и топлинска спроводливост ≥80W/(m·K) со оптимизирање на методот и процесот на синтерување.


Време на објавување: 29-10-2024 година