Сите тенки филмови што се користат во производството на полупроводници имаат отпор, а отпорноста на филмот има директно влијание врз перформансите на уредот. Обично не го мериме апсолутниот отпор на филмот, туку го користиме отпорот на листот за да го карактеризираме.
Што се отпорност на листот и волуменска отпорност?
Обемната отпорност, позната и како волуменска отпорност, е вродено својство на материјалот што карактеризира колку материјалот го попречува протокот на електрична струја. Најчесто користениот симбол ρ претставува, единицата е Ω.
Отпорност на листот, познат и како отпор на листот, англиското име е отпорност на листот, што се однесува на вредноста на отпорот на филмот по единица површина. Најчесто користени симболи Rs или ρs за изразување, единицата е Ω/sq или Ω/□
Врската помеѓу двете е: отпор на лист = отпорност на волумен/дебелина на филмот, односно Rs =ρ/t
Зошто да се измери отпорноста на листот?
Мерењето на апсолутниот отпор на филмот бара прецизно познавање на геометриските димензии на филмот (должина, ширина, дебелина), што има многу променливи и е многу сложено за многу тенки или неправилни филмови. Отпорот на листот е поврзан само со дебелината на филмот и може брзо и директно да се тестира без комплицирани пресметки за големината.
Кои филмови треба да ја измерат отпорноста на листот?
Општо земено, спроводливите филмови и полупроводничките филмови треба да се мерат за квадратна отпорност, додека изолационите филмови не треба да се мерат.
Кај полупроводничкиот допинг се мери и отпорноста на лимот на силициумот.
Како да се измери отпорот на квадрат?
Методот со четири сонди генерално се користи во индустријата. Методот со четири сонди може да измери квадратен отпор кој се движи од 1E-3 до 1E+9Ω/sq. Методот со четири сонди може да избегне грешки при мерењето поради отпорот на контакт помеѓу сондата и примерокот.
Методи на мерење:
1) Поставете четири линеарно распоредени сонди на површината на примерокот.
2) Нанесете постојана струја помеѓу двете надворешни сонди.
3) Одредете го отпорот со мерење на потенцијалната разлика помеѓу двете внатрешни сонди
РС: отпорност на листот
ΔV: Промена на напонот измерена помеѓу внатрешните сонди
I : Применета струја помеѓу надворешните сонди
Време на објавување: Мар-29-2024