НаMOCVDметодот е еден од најстабилните процеси кои моментално се користат во индустријата за одгледување висококвалитетни еднокристални тенки фолии, како што се еднофазни InGaN епислој, III-N материјали и полупроводнички филмови со повеќе квантни бунарски структури и е од големо значење во производство на полупроводнички и оптоелектронски уреди.
НаSiC облога MOCVD сензоре специјализиран држач за нафора обложен со силициум карбид (SiC) заепитаксијален раст во процесот на таложење на метални органски хемиски пареа (MOCVD).
Облогата SiC има одлична хемиска отпорност и термичка стабилност, што го прави идеален избор за MOCVD сензори кои се користат во тешките процеси на епитаксијален раст.
Клучна компонента на процесот на MOCVD е сусцепторот, кој е клучен елемент за да се обезбеди униформност и квалитет на произведените тенки фолии.
Што е суцептор? Сусцепторот е специјализирана компонента што се користи во процесот на MOCVD за поддршка и загревање на подлогата на која се депонира тенката фолија. Има повеќе функции, вклучувајќи апсорпција на електромагнетна енергија, нејзино претворање во топлина и рамномерно распределување на топлината на подлогата. Ова еднообразно загревање е од суштинско значење за растот на еднообразните тенки фолии со прецизна дебелина и состав.
Видови на сусцептори:
1. Графитни сусцептори: Графитните сусцептори често се обложени со заштитен слој како на пр.силициум карбид (SiC), кој е познат по својата висока топлинска спроводливост и стабилност. НаSiC облогаобезбедува тврда, заштитна површина која е отпорна на корозија и деградација на високи температури.
2. Чувствителни силициум карбид (SiC): Овие суцептори се целосно направени од SiC и имаат одлична термичка стабилност и отпорност на абење. SiC сензорите се особено погодни за процеси на висока температура и корозивни средини.
Како функционираат сусцепторите во MOCVD:
Во процесот MOCVD, прекурсорите се внесуваат во комората за реакција каде што се распаѓаат и реагираат за да формираат тенок слој на подлогата. Подлошката игра витална улога со тоа што обезбедува рамномерно загревање на подлогата, што е од клучно значење за постигнување конзистентни својства на филмот низ целата површина на подлогата. Материјалот и дизајнот на сусцепторот се внимателно избрани за да ги задоволат специфичните барања на процесот на таложење, како што се температурниот опсег и хемиската компатибилност.
Придобивки од користење на висококвалитетни суцептори:
• Зајакнат квалитет на филмот: со обезбедување на рамномерна дистрибуција на топлина, суцепторот помага да се постигнат филмови со конзистентна дебелина и состав, што е критично за перформансите на полупроводничките уреди.
• Подобрена ефикасност на процесот: Висококвалитетните сусцептори ја зголемуваат вкупната ефикасност на MOCVD процесот со намалување на веројатноста за дефекти и зголемување на приносот на употребливи филмови.
• Животен век и доверливост: Поддржувачите направени од издржливи материјали како што е SiC обезбедуваат долгорочна доверливост и ги намалуваат трошоците за одржување.
Сусцепторот е интегрална компонента во процесот MOCVD и директно влијае на квалитетот и ефикасноста на таложење на тенок филм. За повеќе информации за достапните големини, MOCVD сензори и цени, ве молиме не двоумете се да не контактирате. Нашите инженери со задоволство ќе ве советуваат за соодветни материјали и ќе одговорат на сите ваши прашања.
Телефон: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
Време на објавување: 12.08.2024