Воведување на носач на нафора
КАТАГОРИЈА НА ПРОИЗВОДИ
▶Систем за носач на нафора за процес PECVD и TALOX
• Графитен чамец PECVD и TALOX (M4~M12)
• Вертикален SM-boat (M4, M6)
• Графитен дел за имплантација и туш (M4~M6)
• Послужавник за C/C и керамички слој
• Метален RIE-Послужавник и керамички слој
• Вакуумско запечатување: О-прстен и SQ-прстен
▶Процес на пренос на текстура и влажно офортување
• LSC H-носач или касета (M4~M12)
• LSC V-Carrier или касета (M4~M12)
• ASC носач или касета (M4, M6)
• W/F Носач и кутија за складирање (M4~M12)
• Серија на транспортни тркала (ролери).
▶Носач за соларни ќелии и метален носач
• TRC носач или касета (M4~M12)
• Списание (со ПОјас)
БРОД ОД ГРАФИТ (H-тип)
19P6-216CT (WF M4~M12)
БРОД ОД ГРАФИТ (H-тип)
21P6-240CT WF M4~M12)
БРОД ОД ГРАФИТ (H-тип)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
БРОД ОД ГРАФИТ (H-тип)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
БРОД ОД ГРАФИТ (H-тип)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF КАРРИЕР И КУТИЈА ЗА СКЛАДИРАЊЕ (~M12)
Фиока за C/C или CARRIER (M4~M10)
Фиока за C/C или CARRIER (M4~M10)
ВЕРТИКАЛЕН БРОМ (СМ) М6
LSC-H-CARRIER (~ M12)
LSC-V-CARRIER (~ M12)
ASC CARRIER (~M6)
TRC CARRIER (~M12)
TRC CARRIER (~M12)
Брод со графит (M12)
Систем за носач на нафора за PECVD процес
▶ ГРАФИТЕН БРОЈ (КТ-дизајниран) процес M10/M12
• СПЕЦИЈАЛЕН ДИЗАЈН КОНЦЕПТ
▶ ГРАФИТЕН БРОМ (КТ-дизајниран) процес M4/M6
▶ Додатоци за чамци
▶ ВЕРТИКАЛЕН БРОЈК-161,7мм нафора
▶ ВЕРТИКАЛЕН БРОЈ-166мм нафора
▶ ВЕРТИКАЛЕН БРОД-161,7 мм, нафора 166 мм
Носач за соларни ќелии и метален TRC носач
ТИП: Автоматизација
ГОЛЕМИНА НА НАФАЛА: ① 156×156MM ② 156,75×156,75MM
③161,7x161,7MM ④166x166MM
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
КОРИСТЕЊЕ: Носење (касета)
КАПАЦИТЕТ: 100 листови
ТЕСЕН: 4,76mm/5,953mm/6,35mm
ДИМЕНЗИЈА: Приближно 559×220×220mm
Приближно 712×260×260mm
ПРЕДНОСТ: Атмосфера
МАТЕРИЈАЛ: ПЛАМЕН, СТРАНИЧНА БАРКА-АЛУМИНИУМ (анодизирање)
СТРАНИЧНА плочка-POM (антистатик)
Капак на долната лента-EPDM/PU/VITON (ASE)
ТРЦ-МЕТАЛ НОСАЧ (КОРИСНИЧКА ЛИНИЈА)
ТРЦ-МЕТАЛ НОСАЧ (КОРИСНИЧКА ЛИНИЈА)
ТРЦ-МЕТАЛ НОСАЧ (КОРИСНИЧКА ЛИНИЈА)
ТАШИРАЊЕ И ИМПЛАНТ ЗА ТУШИРАЊЕ, НОСАЧ
