PFA касета

Краток опис:

PFA касета– Искусете неспоредлива хемиска отпорност и издржливост со PFA касетата на Semicera, идеалното решение за безбедно и ефикасно ракување со нафора во производството на полупроводници.


Детали за производот

Ознаки на производи

Семицерасо задоволство го нудиPFA касета, врвен избор за ракување со обланда во средини каде хемиската отпорност и издржливоста се најважни. Изработена од високо-чистотен перфлуороалкокси (PFA) материјал, оваа касета е дизајнирана да ги издржи најсложените услови во производството на полупроводници, обезбедувајќи ја безбедноста и интегритетот на вашите наполитанки.

Неспоредлива хемиска отпорностНаPFA касетае дизајниран да обезбеди супериорна отпорност на широк опсег на хемикалии, што го прави совршен избор за процеси кои вклучуваат агресивни киселини, растворувачи и други груби хемикалии. Оваа силна хемиска отпорност осигурува дека касетата останува недопрена и функционална дури и во најкорозивни средини, со што се продолжува нејзиниот животен век и се намалува потребата од чести замени.

Конструкција со висока чистотаСемицераPFA касетае произведен од ултра-чист материјал PFA, кој е критичен за спречување на контаминација за време на обработката на нафора. Оваа конструкција со висока чистота го минимизира ризикот од создавање честички и хемиско истекување, осигурувајќи дека вашите наполитанки се заштитени од нечистотии кои би можеле да го загрозат нивниот квалитет.

Зголемена издржливост и перформансиДизајниран за издржливост, наPFA касетаго одржува својот структурен интегритет при екстремни температури и ригорозни услови за обработка. Без разлика дали е изложена на високи температури или изложена на повеќекратно ракување, оваа касета ја задржува својата форма и перформанси, нудејќи долгорочна доверливост во тешки производствени средини.

Прецизно инженерство за безбедно ракувањеНаSemicera PFA касетасе одликува со прецизно инженерство кое обезбедува сигурно и стабилно ракување со нафора. Секој отвор е внимателно дизајниран да ги држи наполитанките безбедно на своето место, спречувајќи какво било движење или поместување што може да резултира со оштетување. Овој прецизен инженеринг поддржува конзистентно и точно поставување на нафора, придонесувајќи за севкупната ефикасност на процесот.

Разновидна примена низ процеситеБлагодарение на неговите супериорни својства на материјалот, наPFA касетае доволно разноврсна за да се користи во различни фази на производство на полупроводници. Тоа е особено добро прилагодено за влажно офорт, хемиско таложење на пареа (CVD) и други процеси кои вклучуваат сурови хемиски средини. Неговата приспособливост го прави суштинска алатка за одржување на интегритетот на процесот и квалитетот на обландата.

Посветеност на квалитет и иновацииВо Semicera, ние сме посветени на обезбедување производи кои ги исполнуваат највисоките индустриски стандарди. НаPFA касетае пример за оваа посветеност, нудејќи сигурно решение кое беспрекорно се интегрира во вашите производни процеси. Секоја касета подлежи на строга контрола на квалитетот за да се осигура дека ги исполнува нашите ригорозни критериуми за изведба, обезбедувајќи ја извонредноста што ја очекувате од Semicera.

Предмети

Производство

Истражување

Кукла

Кристални параметри

Политип

4H

Грешка во ориентацијата на површината

<11-20 >4±0,15°

Електрични параметри

Допант

Азот од n-тип

Отпорност

0,015-0,025ohm·cm

Механички параметри

Дијаметар

150,0±0,2 мм

Дебелина

350±25 μm

Примарна рамна ориентација

[1-100]±5°

Примарна рамна должина

47,5±1,5 мм

Секундарен стан

Никој

ТТВ

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

ЛТВ

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Лак

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Искривување

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Предна (Si-лице) грубост (AFM)

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Структура

Густина на микроцевките

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Метални нечистотии

≤5E10 атоми/cm2

NA

БПД

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

ТСД

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Преден квалитет

Предна страна

Si

Површинска завршница

Si-face CMP

Честички

≤60ea/нафора (големина≥0,3μm)

NA

Гребнатини

≤5ea/mm. Кумулативна должина ≤Дијаметар

Кумулативна должина≤2*Дијаметар

NA

Кора од портокал/јами/дамки/стрикции/ пукнатини/контаминација

Никој

NA

Ивица чипови / вдлабнатини / фрактура / хексадецидни плочи

Никој

Политипски области

Никој

Кумулативна површина≤20%

Кумулативна површина≤30%

Предно ласерско обележување

Никој

Назад квалитет

Задна завршница

C-лице CMP

Гребнатини

≤5ea/mm,Кумулативна должина≤2*Дијаметар

NA

Дефекти на грбот (чипови на рабовите/вдлабнатини)

Никој

Грубоста на грбот

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Ласерско обележување на грбот

1 мм (од горниот раб)

Работ

Работ

Chamfer

Пакување

Пакување

Epi-ready со вакуумско пакување

Пакување касети со повеќе обланди

*Забелешки: „NA“ значи без барање Ставките што не се споменати може да се однесуваат на ПОЛУ-СПБ.

технологија_1_2_големина
SiC наполитанки

  • Претходно:
  • Следно: