Преглед на производот
НаСилициум импрегниран силикон карбид (SiC) лопатка и носач на нафорае конструиран за да ги задоволи барањата на барањата за полупроводничка термичка обработка. Изработен од SiC со висока чистота и подобрен преку силициумска импрегнација, овој производ нуди уникатна комбинација на перформанси со висока температура, одлична топлинска спроводливост, отпорност на корозија и извонредна механичка сила.
Со интегрирање на напредната наука за материјали со прецизното производство, ова решение обезбедува супериорни перформанси, сигурност и издржливост за производителите на полупроводници.
Клучни карактеристики
1.Исклучителна отпорност на високи температури
Со точка на топење поголема од 2700°C, SiC материјалите се инхерентно стабилни при екстремна топлина. Силиконската импрегнација дополнително ја подобрува нивната термичка стабилност, овозможувајќи им да издржат продолжено изложување на високи температури без структурно слабеење или деградација на перформансите.
2.Супериорна топлинска спроводливост
Исклучителната топлинска спроводливост на SiC импрегниран со силикон обезбедува рамномерна дистрибуција на топлина, намалувајќи го термичкиот стрес за време на критичните фази на обработка. Ова својство го продолжува животниот век на опремата и го минимизира времето на производство, што го прави идеален за термичка обработка на висока температура.
3.Отпорност на оксидација и корозија
Цврст слој од силикон оксид се формира природно на површината, обезбедувајќи извонредна отпорност на оксидација и корозија. Ова обезбедува долгорочна сигурност во тешки работни средини, заштитувајќи ги и материјалот и околните компоненти.
4.Висока механичка цврстина и отпорност на абење
SiC, импрегниран со силикон, се одликува со одлична цврстина на притисок и отпорност на абење, одржувајќи го неговиот структурен интегритет при услови на големо оптоварување и висока температура. Ова го намалува ризикот од оштетување поврзано со абење, обезбедувајќи постојани перформанси во текот на продолжените циклуси на употреба.
Спецификации
| Име на производ | SC-RSiC-Si |
| Материјал | Силиконска импрегнација Компактен силикон карбид (висока чистота) |
| Апликации | Полупроводнички делови за термичка обработка, делови за опрема за производство на полупроводници |
| Формулар за испорака | Лиено тело (Синтерувано тело) |
| Состав | Механички имот | Young's Modulus (GPa) | Јачина на свиткување (MPa) | ||
| Состав (вол%) | α-SiC | α-SiC | RT | 370 | 250 |
| 82 | 18 | 800°C | 360 | 220 | |
| Обемна густина (kg/m³) | 3,02 x 103 | 1200°C | 340 | 220 | |
| Температура отпорна на топлина°C | 1350 година | Поасонов сооднос | 0,18 (RT) | ||
| Термички имот | Топлинска спроводливост (Ш/(м· К)) | Специфичен топлински капацитет (kJ/(kg·K)) | Коефициент на термичка експанзија (1/K) | ||
| RT | 220 | 0,7 | RT~700°C | 3,4 x 10-6 | |
| 700°C | 60 | 1.23 | 700-1200°C | 4,3 x 10-6 | |
| Содржина на нечистотија ((ppm) | |||||||||||||
| Елемент | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
| Стапка на содржина | 3 | <2 | <0,5 | <0,1 | <1 | 5 | 0.3 | <0,1 | <0,1 | <0,1 | <0,3 | <0,3 | 25 |
Апликации
▪Полупроводничка термичка обработка:Идеален за процеси како што се хемиско таложење на пареа (CVD), епитаксијален раст и жарење, каде прецизната контрола на температурата и издржливоста на материјалот се клучни.
▪Носачи и лопатки за нафора:Дизајниран за безбедно држење и транспорт на наполитанки за време на термички третмани со висока температура.
▪Екстремни оперативни средини: Погоден за поставки кои бараат отпорност на топлина, хемиска изложеност и механички стрес.
Предности на SiC импрегниран со силикон
Комбинацијата на силициум карбид со висока чистота и напредна технологија за импрегнација на силициум обезбедува неспоредливи придобивки од перформансите:
▪Прецизност:Ја подобрува точноста и контролата на полупроводничката обработка.
▪Стабилност:Издржува сурови средини без да се загрози функционалноста.
▪Долговечност:Го продолжува работниот век на опремата за производство на полупроводници.
▪Ефикасност:Ја подобрува продуктивноста со обезбедување сигурни и конзистентни резултати.
Зошто да ги изберете нашите решенија за SiC импрегнирани со силикон?
At Семицера, ние сме специјализирани за обезбедување решенија со високи перформанси прилагодени на потребите на производителите на полупроводници. Нашите лопатки и носачи на нафора со силикон-карбид импрегнирани се подложени на ригорозни тестирања и гаранција за квалитет за да се исполнат индустриските стандарди. Со избирање на Semicera, добивате пристап до најсовремени материјали дизајнирани да ги оптимизираат вашите производни процеси и да ги подобрат вашите производствени способности.
Технички спецификации
▪Состав на материјал:Силициум карбид со висока чистота со силициумска импрегнација.
▪Опсег на работна температура:До 2700°C.
▪ Топлинска спроводливост:Исклучително висока за рамномерна дистрибуција на топлина.
▪Својства на отпор:Отпорен на оксидација, корозија и абење.
▪Апликации:Компатибилен со различни полупроводнички системи за термичка обработка.
Контактирајте со нас
Подготвени сте да го подигнете вашиот процес на производство на полупроводници? КонтактСемицераденес за да дознаете повеќе за нашата лопатка и носач на нафора со силикон карбид импрегниран со силикон.
▪Е-пошта: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪Телефон: +86-0574-8650 3783
▪Локација:бр.1958 Jiangnan Road, Ningbo High tech, зона, провинција Жеџијанг, 315201, Кина
