Вовед во CVD TaC обложување:
CVD TaC Coating е технологија која користи хемиско таложење на пареа за таложење на облогата со тантал карбид (TaC) на површината на подлогата. Тантал карбид е керамички материјал со високи перформанси со одлични механички и хемиски својства. Процесот на CVD генерира униформа TaC филм на површината на подлогата преку реакција на гас.
Главни карактеристики:
Одлична цврстина и отпорност на абење: Тантал карбид има исклучително висока цврстина, а CVD TaC облогата може значително да ја подобри отпорноста на абење на подлогата. Ова ја прави облогата идеална за примена во средини со големо абење, како што се алатки за сечење и калапи.
Стабилност на висока температура: TaC облогите ги штитат критичните компоненти на печката и реакторот на температури до 2200°C, покажувајќи добра стабилност. Одржува хемиска и механичка стабилност при екстремни температурни услови, што го прави погоден за обработка на висока температура и примена во средини со висока температура.
Одлична хемиска стабилност: Тантал карбидот има силна отпорност на корозија на повеќето киселини и алкалии, а CVD TaC облогата може ефикасно да спречи оштетување на подлогата во корозивни средини.
Висока точка на топење: Тантал карбид има висока точка на топење (приближно 3880°C), што овозможува CVD TaC облогата да се користи во услови на екстремни високи температури без да се топи или деградира.
Одлична топлинска спроводливост: TaC облогата има висока топлинска спроводливост, што помага ефикасно да се исфрла топлината во процесите на висока температура и да се спречи локално прегревање.
Потенцијални апликации:
• Галиум нитрид (GaN) и силициум карбид епитаксијален CVD-реактор, вклучувајќи носачи на нафора, сателитски чинии, туш кабини, тавани и подлоги
• Силициум карбид, галиум нитрид и алуминиум нитрид (AlN) компоненти за раст на кристалите, вклучително садници, држачи за семиња, водечки прстени и филтри
• Индустриски компоненти вклучувајќи отпорни грејни елементи, прскалки за инјектирање, прстени за маскирање и лемење
Карактеристики на апликацијата:
• Температура стабилна над 2000°C, што овозможува работа при екстремни температури
• Отпорен на водород (Hz), амонијак (NH3), моносилан (SiH4) и силициум (Si), обезбедувајќи заштита во тешки хемиски средини
• Неговата отпорност на термички удар овозможува побрзи работни циклуси
• Графитот има силна адхезија, обезбедувајќи долг работен век и без раслојување на облогата.
• Ултра висока чистота за елиминирање на непотребните нечистотии или загадувачи
• Сообразно покривање на облогата до тесни димензионални толеранции
Технички спецификации:
Подготовка на густи облоги од тантал карбид со CVD:
TAC облога со висока кристалиност и одлична униформност:
CVD TAC COATING Технички параметри_Semicera:
Горенаведените се типични вредности.
