TaC Coated Plate е специјализиран диск дизајниран за употреба во SiC епитаксијални процеси, изработен со прецизност од висококвалитетен графитен материјал. Неговата површина е прецизно обложена со тантал карбид (TaC), соединение познато по својата исклучителна чистота и сила. Облогата TaC ја подобрува издржливоста и отпорноста на плочата на високи температури, што ја прави идеална за тешките услови на епитаксијалните процеси на SiC.
Оваа иновативна TaC обложена плоча е специјализиран диск дизајниран за употреба во епитаксијалните процеси на SiC, изработен со прецизност од висококвалитетен графитен материјал. Површината на плочата обложена со TaC е прецизно обложена со тантал карбид (TaC), соединение познато по својата исклучителна чистота и сила. служи како сигурна платформа за носење наполитанки за време на различни фази на епитаксијалниот раст на SiC. Нејзината графитна основа со висока чистота обезбедува стабилна и инертна површина, додека облогата TaC додава дополнителен слој на заштита од хемиски реакции и абење.
СемичкиераTaC обложената плоча е прилагодена според специфичните барања на клиентите, обезбедувајќи оптимални перформанси и компатибилност со нивните SiC епитаксијални системи. Без разлика дали се работи за големина, облик или други спецификации, овие плочи се прилагодени да ги задоволат уникатните потреби на секоја апликација.
со и без TaC
По користење на TaC (десно)
Покрај тоа, на SemiceraПроизводи обложени со TaCпокажуваат подолг работен век и поголема отпорност на високи температури во споредба соSiC облоги.Лабораториските мерења покажаа дека нашитеTaC облогиможе постојано да работи на температури до 2300 Целзиусови степени за подолги периоди. Подолу се неколку примери од нашите примероци:
