Semicera обезбедува специјализирани облоги од тантал карбид (TaC) за различни компоненти и носачи.Водечкиот процес на обложување Semicera им овозможува на облогите од тантал карбид (TaC) да постигнат висока чистота, стабилност на висока температура и висока хемиска толеранција, подобрувајќи го квалитетот на производот на кристалите SIC/GAN и слоевите EPI (Графит обложен TaC чувствител), и продолжување на животниот век на клучните компоненти на реакторот. Употребата на облогата TaC со тантал карбид е да се реши проблемот со рабовите и да се подобри квалитетот на растот на кристалите, а Semicera ја реши технологијата за обложување со тантал карбид (CVD), достигнувајќи меѓународно напредно ниво.
Носачите на обланди обложени со тантал карбид се широко користени во процесите на обработка и ракување со обланди во процесите на производство на полупроводници. Тие обезбедуваат стабилна поддршка и заштита за да се осигури безбедноста, точноста и конзистентноста на наполитанките за време на процесот на производство. Облогите со тантал карбид можат да го продолжат работниот век на носачот, да ги намалат трошоците и да го подобрат квалитетот и доверливоста на полупроводничките производи.
Опис на носачот на обланда обложен со тантал карбид е како што следува:
1. Избор на материјал: Тантал карбидот е материјал со одлични перформанси, висока цврстина, висока точка на топење, отпорност на корозија и одлични механички својства, па затоа е широко користен во процесот на производство на полупроводници.
2. Површинска обвивка: Облогата со тантал карбид се нанесува на површината на носачот на обланда преку посебен процес на обложување за да се формира униформа и густа обвивка од тантал карбид. Овој слој може да обезбеди дополнителна заштита и отпорност на абење, додека има добра топлинска спроводливост.
3. Плошност и прецизност: Носачот на обланди обложен со тантал карбид има висок степен на плошност и прецизност, обезбедувајќи стабилност и точност на наполитанките за време на процесот на производство. Плошноста и завршницата на површината за носење се клучни за да се обезбеди квалитетот и перформансите на нафората.
4. Стабилност на температурата: Носачите на обланди обложени со тантал карбид можат да одржуваат стабилност во средини со висока температура без деформација или олабавување, обезбедувајќи стабилност и конзистентност на обландите во процесите на висока температура.
5. Отпорност на корозија: облогите од тантал карбид имаат одлична отпорност на корозија, можат да се спротивстават на ерозијата на хемикалиите и растворувачите и да го заштитат носачот од течна и гасна корозија.
со и без TaC
По користење на TaC (десно)
Покрај тоа, на SemiceraПроизводи обложени со TaCпокажуваат подолг работен век и поголема отпорност на високи температури во споредба соSiC облоги.Лабораториските мерења покажаа дека нашитеTaC облогиможе постојано да работи на температури до 2300 Целзиусови степени за подолги периоди. Подолу се неколку примери од нашите примероци:
