Графитен лист обложен со тантал карбиде графитен материјал со тенок слој одтантал карбидна површината на подлогата. Тенкиот слој на тантал карбид обично се формира на површината на графитната подлога со техники како што се физичко таложење на пареа (PVD) или хемиско таложење на пареа (CVD). Овој слој има одлични својства како што се висока цврстина, одлична отпорност на абење, отпорност на корозија и стабилност на високи температури.
Semicera обезбедува специјализирани облоги од тантал карбид (TaC) за различни компоненти и носачи.Водечкиот процес на обложување Semicera им овозможува на облогите од тантал карбид (TaC) да постигнат висока чистота, стабилност на висока температура и висока хемиска толеранција, подобрувајќи го квалитетот на производот на кристалите SIC/GAN и слоевите EPI (Графит обложен TaC чувствител), и продолжување на животниот век на клучните компоненти на реакторот. Употребата на облогата TaC со тантал карбид е да се реши проблемот со рабовите и да се подобри квалитетот на растот на кристалите, а Semicera ја реши технологијата за обложување со тантал карбид (CVD), достигнувајќи меѓународно напредно ниво.
По години на развој, Semicera ја освои технологијата наCVD TaCсо заеднички напори на одделот за истражување и развој. Лесно се појавуваат дефекти во процесот на раст на наполитанките SiC, но по употребаTaC, разликата е значајна. Подолу е споредба на наполитанки со и без TaC, како и делови од Simicera за раст на еден кристал.
Главните предности на графитниот лист обложен со тантал карбид вклучуваат:
1. Отпорност на високи температури: Тантал карбидот има висока точка на топење и одлична стабилност на високи температури, што го прави обложениот графитен лист погоден за употреба во средини со висока температура.
2. Отпорност на корозија: Облогата со тантал карбид може да се спротивстави на ерозијата на многу хемиски корозивни супстанции и да го продолжи работниот век на материјалот.
3. Висока цврстина: Високата цврстина на тенок слој на тантал карбид обезбедува добра отпорност на абење и е погодна за апликации кои бараат висока отпорност на абење.
4. Хемиска стабилност: Облогата со тантал карбид има одлична стабилност на хемиска корозија и е погодна за употреба во некои корозивни медиуми.
со и без TaC
По користење на TaC (десно)
Покрај тоа, на SemiceraПроизводи обложени со TaCпокажуваат подолг работен век и поголема отпорност на високи температури во споредба соSiC облоги.Лабораториските мерења покажаа дека нашитеTaC облогиможе постојано да работи на температури до 2300 Целзиусови степени за подолги периоди. Подолу се неколку примери од нашите примероци:
