Обработка на MEMS - поврзување: примена и перформанси во индустријата на полупроводници, приспособена услуга Semicera
Во индустријата за микроелектроника и полупроводници, технологијата MEMS (микро-електромеханички системи) стана една од основните технологии што поттикнуваат иновации и опрема со високи перформанси. Со напредокот на науката и технологијата, MEMS технологијата е широко користена во сензори, актуатори, оптички уреди, медицинска опрема, автомобилска електроника и други области и постепено стана незаменлив дел од модерната технологија. Во овие полиња, процесот на поврзување (Bonding), како клучен чекор во обработката на MEMS, игра витална улога во перформансите и доверливоста на уредот.
Врзувањето е технологија која цврсто комбинира два или повеќе материјали со физички или хемиски средства. Вообичаено, различните слоеви на материјалот треба да се поврзат со поврзување во MEMS уредите за да се постигне структурен интегритет и функционална реализација. Во процесот на производство на уредите MEMS, поврзувањето не е само процес на поврзување, туку директно влијае на термичката стабилност, механичката сила, електричните перформанси и други аспекти на уредот.
Во MEMS обработката со висока прецизност, технологијата за лепење треба да обезбеди тесно поврзување помеѓу материјалите, притоа избегнувајќи какви било дефекти што влијаат на перформансите на уредот. Затоа, прецизната контрола на процесот на лепење и висококвалитетните материјали за лепење се клучни фактори за да се осигура дека финалниот производ ги исполнува индустриските стандарди.
Апликации за поврзување MEMS во индустријата за полупроводници
Во индустријата за полупроводници, MEMS технологијата е широко користена во производството на микро уреди како што се сензори, акцелерометри, сензори за притисок и жироскопи. Со зголемената побарувачка за минијатуризирани, интегрирани и интелигентни производи, барањата за точност и перформанси на MEMS уредите исто така се зголемуваат. Во овие апликации, технологијата за поврзување се користи за поврзување на различни материјали како што се силиконски наполитанки, стакло, метали и полимери за да се постигнат ефикасни и стабилни функции.
1. Сензори за притисок и акцелерометри
Во областа на автомобилите, воздушната, потрошувачката електроника итн., MEMS сензорите за притисок и акцелерометрите се широко користени во мерните и контролните системи. Процесот на поврзување се користи за поврзување на силиконски чипови и сензорски елементи за да се обезбеди висока чувствителност и точност. Овие сензори мора да бидат способни да издржат екстремни услови на животната средина, а висококвалитетните процеси на поврзување можат ефективно да спречат одвојување или неправилно функционирање на материјалите поради температурни промени.
2. Микрооптички уреди и MEMS оптички прекинувачи
Во областа на оптичките комуникации и ласерските уреди, MEMS оптичките уреди и оптичките прекинувачи играат важна улога. Технологијата за поврзување се користи за да се постигне прецизна врска помеѓу MEMS уредите базирани на силикон и материјалите како што се оптичките влакна и огледалата за да се обезбеди ефикасност и стабилност на преносот на оптички сигнал. Особено во апликации со висока фреквенција, широк опсег и пренос на долги растојанија, технологијата за поврзување со високи перформанси е од клучно значење.
3. MEMS жироскопи и инерцијални сензори
Жироскопите и инерцијалните сензори MEMS се широко користени за прецизна навигација и позиционирање во индустриите од високата класа, како што се автономното возење, роботиката и воздушната. Процесите за поврзување со висока прецизност може да ја осигураат доверливоста на уредите и да избегнат деградација или неуспех на перформансите за време на долготрајна работа или работа со висока фреквенција.
Клучни барања за изведба на технологијата за поврзување во MEMS обработката
Во MEMS обработката, квалитетот на процесот на поврзување директно ги одредува перформансите, животниот век и стабилноста на уредот. За да се осигура дека уредите MEMS можат да работат сигурно долго време во различни сценарија на апликацијата, технологијата за поврзување мора да ги има следниве клучни перформанси:
1. Висока термичка стабилност
Многу средини за примена во индустријата за полупроводници имаат високи температурни услови, особено во областа на автомобилите, воздушната, итн.
2. Висока отпорност на абење
Уредите MEMS обично вклучуваат микромеханички структури, а долгорочното триење и движење може да предизвикаат абење на деловите за поврзување. Материјалот за поврзување треба да има одлична отпорност на абење за да се обезбеди стабилност и ефикасност на уредот при долготрајна употреба.
3. Висока чистота
Индустријата за полупроводници има многу строги барања за чистота на материјалот. Секој мал загадувач може да предизвика дефект на уредот или влошување на перформансите. Затоа, материјалите што се користат во процесот на лепење мора да имаат исклучително висока чистота за да се осигура дека уредот нема да биде засегнат од надворешна контаминација за време на работата.
4. Прецизна точност на сврзување
Уредите MEMS често бараат прецизност на обработка на ниво на микрон или дури и нанометарско ниво. Процесот на лепење мора да обезбеди прецизно прицврстување на секој слој материјал за да се осигура дека функцијата и перформансите на уредот не се засегнати.
Анодично поврзување
Анодично поврзување:
● Применливо за поврзување помеѓу силиконски наполитанки и стакло, метал и стакло, полупроводник и легура, и полупроводник и стакло
Еутектоидна врска:
● Применливо за материјали како што се PbSn, AuSn, CuSn и AuSi
Сврзување со лепак:
● Користете специјален лепак за врзување, погоден за специјални лепила за лепење како што се AZ4620 и SU8
● Применливо за 4-инчни и 6-инчни
Семицера прилагодено сврзување
Како водечки снабдувач во индустријата на решенија за обработка на MEMS, Semicera е посветена да им обезбеди на клиентите високопрецизни и високостабилни приспособени услуги за поврзување. Нашата технологија за лепење може да се користи нашироко во поврзувањето на различни материјали, вклучувајќи силициум, стакло, метал, керамика итн., обезбедувајќи иновативни решенија за највисоки апликации во полињата на полупроводници и MEMS.
Semicera има напредна производствена опрема и технички тимови и може да обезбеди приспособени решенија за сврзување според специфичните потреби на клиентите. Без разлика дали се работи за доверливо поврзување во средина со висока температура и висок притисок, или прецизно поврзување на микро-уредот, Semicera може да исполни различни сложени барања за процесот за да се осигура дека секој производ може да ги исполни највисоките стандарди за квалитет.
Нашата услуга за прилагодено лепење не е ограничена на конвенционалните процеси на лепење, туку вклучува и метално лепење, термичка компресија, лепење со лепило и други процеси, кои можат да обезбедат професионална техничка поддршка за различни материјали, структури и барања за примена. Покрај тоа, Semicera може да им обезбеди на клиентите целосна услуга од развој на прототип до масовно производство за да се осигура дека секое техничко барање на клиентите може точно да се реализира.
