Рака за ракување со нафорае клучна опрема што се користи во процесот на производство на полупроводници за ракување, пренос и позиционирањенаполитанки. Обично се состои од роботска рака, држач и контролен систем, со прецизни можности за движење и позиционирање.Рачки за ракување со нафорасе широко користени во различни врски во производството на полупроводници, вклучувајќи ги и процесните чекори како што се вчитување на нафора, чистење, таложење на тенок филм, офорт, литографија и инспекција. Неговата прецизност, доверливост и способности за автоматизација се од суштинско значење за да се обезбеди квалитет, ефикасност и конзистентност на производниот процес.
Главните функции на раката за ракување со нафора вклучуваат:
1. Пренос на нафора: Раката за ракување со нафора е способна прецизно да пренесува наполитанки од една локација на друга, како на пример земање наполитанки од решетката за складирање и нивно ставање во уред за обработка.
2. Позиционирање и ориентација: Раката за ракување со нафора може прецизно да ја постави и ориентира нафората за да обезбеди правилно порамнување и положба за последователни операции за обработка или мерење.
3. Стегање и отпуштање: Рачките за ракување со нафора обично се опремени со држачи кои можат безбедно да ги прицврстат наполитанките и да ги ослободат кога е потребно за да се обезбеди безбедно пренесување и ракување со обландите.
4. Автоматска контрола: Раката за ракување со нафора е опремена со напреден контролен систем кој може автоматски да изврши однапред одредени акциони секвенци, да ја подобри ефикасноста на производството и да ги намали човечките грешки.
Карактеристики и предности
1.Прецизни димензии и термичка стабилност.
2. Висока специфична вкочанетост и одлична топлинска униформност, долготрајната употреба не е лесно да се свитка деформацијата.
3. Има мазна површина и добра отпорност на абење, со што безбедно се ракува со чипот без контаминација на честички.
4. Отпорност на силициум карбид во 106-108Ω, не-магнетна, во согласност со барањата за спецификација против ESD; Може да спречи акумулација на статички електрицитет на површината на чипот.
5. Добра топлинска спроводливост, низок коефициент на експанзија.
