RTPCVD SiC прстенисе широко користени во индустриски и научни области во високи температури и корозивни средини. Тој игра важна улога во производството на полупроводници, оптоелектрониката, прецизните машини и хемиската индустрија. Специфичните апликации вклучуваат:
1. Производство на полупроводници:RTP CVD SiC прстениможе да се користи за загревање и ладење на полупроводничка опрема, обезбедувајќи стабилна контрола на температурата и обезбедувајќи точност и конзистентност на процесот.
2. Оптоелектроника: Поради одличната топлинска спроводливост и отпорноста на високи температури, RTPCVD SiC прстениможе да се користи како материјали за поддршка и дисипација на топлина за ласери, опрема за комуникација со оптички влакна и оптички компоненти.
3. Прецизни машини: RTP CVD SiC прстените може да се користат за прецизни инструменти и опрема во високи температури и корозивни средини, како што се печки со висока температура, вакуумски уреди и хемиски реактори.
4. Хемиска индустрија: Поради отпорноста на корозија и хемиската стабилност, RTP CVD SiC прстените може да се користат во контејнери, цевки и реактори во хемиски реакции и каталитички процеси.
Епи систем
RTP систем
CVD систем
Перформанси на производот:
1. Запознајте го процесот под 28nm
2. Супер отпорност на корозија
3. Супер чисти перформанси
4. Супер цврстина
5. Висока густина
6. Отпорност на високи температури
7. Отпорност на абење
Апликација за производ:
Материјалите од силициум карбид имаат карактеристики на висока цврстина, отпорност на абење, отпорност на корозија и стабилност на висока температура. Производите со одлични сеопфатни перформанси се широко користени во процесите на суво офорт и TF/Diffusion.
Перформанси на производот:
1. Запознајте го процесот под 28nm
2. Супер отпорност на корозија
3. Супер чисти перформанси
4. Супер цврстина
5. Висока густина
6. Отпорност на високи температури
7. Отпорност на абење
Развој на композитен процес:
• Графит + SiC облога
• Цврст CVD SiC
• синтеруван SiC+CVD
• SicSintered SiC
Развој на повеќе типови производи:
• Прстен
• Табела
• Сусцептор
• Глава за туширање