Графитен сусцептор со облога од силициум карбид, носач за нафора

CVD-SiC облогата има карактеристики на униформа структура, компактен материјал, отпорност на висока температура, отпорност на оксидација, висока чистота, отпорност на киселина и алкали и органски реагенс, со стабилни физички и хемиски својства.
Во споредба со графитните материјали со висока чистота, графитот почнува да оксидира на 400C, што ќе предизвика губење на прашокот поради оксидација, што ќе резултира со загадување на животната средина на периферните уреди и вакуумските комори и ќе ги зголеми нечистотиите на околината со висока чистота.
Сепак, облогата SiC може да одржува физичка и хемиска стабилност на 1600 степени, Широко се користи во модерната индустрија, особено во полупроводничката индустрија.