Силикон карбид керамички слој

СемицераСиликон карбид керамички слоје заштитна обвивка со високи перформанси изработена од екстремно тврд и отпорен на абење материјал од силициум карбид (SiC). Облогата обично се депонира на површината на подлогата со CVD или PVD процес сочестички на силициум карбид, обезбедувајќи одлична отпорност на хемиска корозија и стабилност на високи температури. Затоа, керамичката облога од силикон карбид е широко користена во клучните компоненти на опремата за производство на полупроводници.

Во производството на полупроводници,SiC облогаможе да издржи екстремно високи температури до 1600°C, така што керамичката облога со силикон карбид често се користи како заштитен слој за опрема или алати за да се спречи оштетување во висока температура или корозивни средини.

Во исто време,силициум карбид керамички слојможе да се спротивстави на ерозијата на киселини, алкалии, оксиди и други хемиски реагенси и има висока отпорност на корозија на различни хемиски супстанции. Затоа, овој производ е погоден за различни корозивни средини во индустријата за полупроводници.

Покрај тоа, во споредба со другите керамички материјали, SiC има поголема топлинска спроводливост и може ефикасно да спроведува топлина. Оваа карактеристика одредува дека во полупроводничките процеси кои бараат прецизна контрола на температурата, високата топлинска спроводливост наСиликон карбид керамички слојпомага рамномерно да се распрсне топлината, да се спречи локално прегревање и да се осигура дека уредот работи на оптимална температура.