Силиконски карбид обложување графит чувствителни

Избрана слика од графит со облога од силикон карбид

Краток опис:

Силикон карбид премачкување графит сусцептор на Semicera Semiconductor обезбедува исклучителна топлинска спроводливост и издржливост за примена на епитаксии. Потпрете се на Semicera за напредни сензори дизајнирани да ги подобрат вашите епитаксијални процеси со врвна технологија за обложување SiC.

Испратете ни е-пошта

Детали за производот

Ознаки на производи

Опис

Графитните чувствителни обложени SiC на Semicera се дизајнирани со користење на висококвалитетни графитни подлоги, кои се прецизно обложени со силициум карбид (SiC) преку напредни процеси на хемиско таложење на пареа (CVD). Овој иновативен дизајн обезбедува исклучителна отпорност на термички шок и хемиска деградација, значително продолжувајќи го животниот век на сензорот за графит обложен со SiC и гарантирајќи сигурни перформанси во текот на процесот на производство на полупроводници.

Клучни карактеристики:

1. Супериорна топлинска спроводливостГрафитниот сензор обложен со SiC покажува извонредна топлинска спроводливост, што е од клучно значење за ефикасна дисипација на топлина за време на производството на полупроводници. Оваа карактеристика ги минимизира топлинските градиенти на површината на обландата, промовирајќи рамномерна распределба на температурата од суштинско значење за постигнување на саканите полупроводнички својства.

2. Цврста отпорност на хемиски и термички удариОблогата SiC обезбедува огромна заштита од хемиска корозија и термички шок, одржувајќи го интегритетот на графитниот сензор дури и во тешки средини за обработка. Оваа подобрена издржливост го намалува времето на застој и го продолжува животниот век, придонесувајќи за зголемена продуктивност и економичност во производствените капацитети за полупроводници.

3. Прилагодување за специфични потребиНашите графитни сензори обложени со SiC можат да се приспособат да задоволат специфични барања и преференции. Нудиме низа опции за прилагодување, вклучувајќи прилагодувања на големината и варијации во дебелината на облогата, за да се обезбеди флексибилност на дизајнот и оптимизирани перформанси за различни апликации и параметри на процесот.

Апликации:

АпликацииSemicera SiC облогите се користат во различни фази на производство на полупроводници, вклучувајќи:
1. -изработка на LED чипови
2. -Производство на полисилициум
3. -Раст на полупроводнички кристали
4. -Силициум и SiC епитаксија
5. -Термичка оксидација и дифузија (TO&D)