Графитен сусцептор со облога од силициум карбид, послужавник за буре

Подлога за графит со облога од силициум карбид, послужавник за буре Избрана слика

Краток опис:

Semicera нуди сеопфатен асортиман на сензори и графитни компоненти дизајнирани за различни реактори со епитаксии.

Преку стратешки партнерства со водечки OEM во индустријата, голема експертиза за материјали и напредни производствени способности, Semicera испорачува приспособени дизајни за да ги задоволат специфичните барања на вашата апликација.Нашата посветеност на извонредност гарантира дека ќе добиете оптимални решенија за вашите потреби на реактор за епитаксии.

Испратете ни е-пошта

Детали за производот

Ознаки на производи

Опис

Нашата компанија обезбедува услуги на процесот на обложување на SiC со CVD метод на површината на графит, керамика и други материјали, така што специјалните гасови кои содржат јаглерод и силициум реагираат на висока температура за да се добијат молекули на SiC со висока чистота, молекули депонирани на површината на обложените материјали, формирајќи SIC заштитен слој.

околу (1)

околу (2)

Главни карактеристики

1. Графит обложен со SiC со висока чистота

2. Супериорна отпорност на топлина и топлинска униформност

3. Фин SiC кристал обложен за мазна површина

4. Висока издржливост против хемиско чистење

Главни спецификации на CVD-SIC облогата

Својства на SiC-CVD
Кристална структура	FCC β фаза
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	μm	2~10
Хемиска чистота	%	99,99995
Топлински капацитет	J·kg-1·K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модулот на Јанг	Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃)	430
Термичка експанзија (CTE)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300