Водечки прстени од графит обложени со TaCсе однесуваат на таложење на тенок слој натантал карбидна површината на водечкиот прстен од графит за да се подобри неговата отпорност на абење, отпорност на високи температури и хемиска стабилност. Оваа обвивка обично се формира на површината на графитниот прстен за водич со техники како што се физичко таложење на пареа (PVD) или хемиско таложење на пареа (CVD).
Semicera обезбедува специјализирани облоги од тантал карбид (TaC) за различни компоненти и носачи.Водечкиот процес на обложување Semicera им овозможува на облогите од тантал карбид (TaC) да постигнат висока чистота, стабилност на висока температура и висока хемиска толеранција, подобрувајќи го квалитетот на производот на кристалите SIC/GAN и слоевите EPI (Графит обложен TaC чувствител), и продолжување на животниот век на клучните компоненти на реакторот. Употребата на облогата TaC со тантал карбид е да се реши проблемот со рабовите и да се подобри квалитетот на растот на кристалите, а Semicera ја реши технологијата за обложување со тантал карбид (CVD), достигнувајќи меѓународно напредно ниво.
По години на развој, Semicera ја освои технологијата наCVD TaCсо заеднички напори на одделот за истражување и развој. Лесно се појавуваат дефекти во процесот на раст на наполитанките SiC, но по употребаTaC, разликата е значајна. Подолу е споредба на наполитанки со и без TaC, како и делови од Simicera за раст на еден кристал.
Главните карактеристики на водечките прстени од графит обложени со TaC вклучуваат:
1. Отпорност на високи температури: TaC облогата има одлична стабилност на висока температура и може да ја одржува стабилноста во средини со висока температура.
2. Отпорност на абење: Високата цврстина на тенок слој на тантал карбид му дава на водечкиот прстен добра отпорност на абење и го продолжува неговиот животен век.
3. Хемиска стабилност: TaC облогата има висока стабилност против хемиска корозија, што го прави погоден за апликации во некои корозивни медиуми.
4. Намалете го триењето: TaC облогата може ефикасно да го намали триењето помеѓу прстенот за водич на графит и другите компоненти и да ја подобри ефикасноста на механичките заптивки.
со и без TaC
По користење на TaC (десно)
Покрај тоа, на SemiceraПроизводи обложени со TaCпокажуваат подолг работен век и поголема отпорност на високи температури во споредба соSiC облоги.Лабораториските мерења покажаа дека нашитеTaC облогиможе постојано да работи на температури до 2300 Целзиусови степени за подолги периоди. Подолу се неколку примери од нашите примероци:
