СемицераTaC Coating Chuck, најсовремената вакуумска чак опремена соTaC облоги, специјално дизајниран за полупроводнички печки. Конструирана да ги задоволи ригорозните барања на современите процеси на производство на полупроводници, оваа иновативна технологија поставува нов стандард за прецизност, доверливост и долговечност.
Во срцето на производството на полупроводници лежи критичната потреба за прецизна контрола и стабилност при обработката. Чак за обложување TaC ја задоволува оваа потреба со интегрирање на напредниTaC (тантал карбид) облогина неговата површина, обезбедувајќи исклучителна термичка стабилност, издржливост и отпорност на хемиска корозија. Оваа уникатна комбинација на материјали не само што ги подобрува перформансите на чакот, туку и го продолжува неговиот работен век, обезбедувајќи конзистентни резултати во текот на безброј циклуси.
Една од клучните предности на чакот за обложување TaC е неговата способност да одржува високо ниво на вакумски интегритет во текот на целиот циклус на обработка. Со ефикасно минимизирање на испуштањето гасови и контаминација, оваа технологија обезбедува чистота и квалитет на полупроводничките материјали, што резултира со супериорни перформанси и доверливост на уредот.
Покрај тоа, чак за обложување TaC нуди неспоредлива разновидност, сместувајќи широк опсег на полупроводнички подлоги со различни големини и геометрии. Прилагодливиот дизајн на чакот за обложување TaC овозможува беспрекорна интеграција во постоечките системи на полупроводнички печки, минимизирајќи го времето на застој и максимизирајќи ја продуктивноста.
Со TaC Coating Chuck, производителите на полупроводници можат да постигнат поголема пропусност, подобрен принос и намалени вкупни трошоци. Без разлика дали се работи за истражувачки лаборатории или производствени капацитети со голем обем, оваа напредна технологија им дава овластување на професионалците за полупроводници да ги поместат границите на иновациите додека одржуваат строги стандарди за квалитет.
со и без TaC
По користење на TaC (десно)
Покрај тоа, на SemiceraПроизводи обложени со TaCпокажуваат подолг работен век и поголема отпорност на високи температури во споредба соSiC облоги.Лабораториските мерења покажаа дека нашитеTaC облогиможе постојано да работи на температури до 2300 Целзиусови степени за подолги периоди. Подолу се неколку примери од нашите примероци: