Плоча за поддршка на сензорот обложена со тантал карбиде сусцептор или потпорна структура која е покриена со тенок слој одтантал карбид. Оваа обвивка може да се формира на површината на сензорот со техники како што се физичко таложење на пареа (PVD) или хемиско таложење на пареа (CVD), давајќи му на суцепторот супериорните својства натантал карбид.
Semicera обезбедува специјализирани облоги од тантал карбид (TaC) за различни компоненти и носачи.Водечкиот процес на обложување Semicera им овозможува на облогите од тантал карбид (TaC) да постигнат висока чистота, стабилност на висока температура и висока хемиска толеранција, подобрувајќи го квалитетот на производот на кристалите SIC/GAN и слоевите EPI (Графит обложен TaC чувствител), и продолжување на животниот век на клучните компоненти на реакторот. Употребата на облогата TaC со тантал карбид е да се реши проблемот со рабовите и да се подобри квалитетот на растот на кристалите, а Semicera ја реши технологијата за обложување со тантал карбид (CVD), достигнувајќи меѓународно напредно ниво.
По години на развој, Semicera ја освои технологијата наCVD TaCсо заеднички напори на одделот за истражување и развој. Лесно се појавуваат дефекти во процесот на раст на наполитанките SiC, но по употребаTaC, разликата е значајна. Подолу е споредба на наполитанки со и без TaC, како и делови од Simicera за раст на еден кристал.
Главните карактеристики на основните потпорни плочи обложени со тантал карбид вклучуваат:
1. Стабилност на висока температура: Тантал карбидот има одлична стабилност на висока температура, што ја прави обложената основна плоча за поддршка погодна за потребите за поддршка во работни средини со висока температура.
2. Отпорност на корозија: Облогата со тантал карбид има добра отпорност на корозија, може да се спротивстави на хемиска корозија и оксидација и да го продолжи работниот век на основата.
3. Висока цврстина и отпорност на абење: Високата цврстина на облогата со тантал карбид и дава на основната потпорна плоча добра отпорност на абење, што е погодно за прилики кои бараат висока отпорност на абење.
4. Хемиска стабилност: Тантал карбидот има висока стабилност на различни хемиски супстанци, што прави обложената основна плоча за поддршка да работи добро во некои корозивни средини.
со и без TaC
По користење на TaC (десно)
Покрај тоа, на SemiceraПроизводи обложени со TaCпокажуваат подолг работен век и поголема отпорност на високи температури во споредба соSiC облоги.Лабораториските мерења покажаа дека нашитеTaC облогиможе постојано да работи на температури до 2300 Целзиусови степени за подолги периоди. Подолу се неколку примери од нашите примероци:
